シリコンウエハ製造での不純物分析を正確かつ効率的に
アジレントの機器には、最高の感度を実現した新世代の技術が組み込まれています。半導体の製造工程のあらゆる段階で、汚染を計測し最小限に抑制する取り組みに、これらの機器が役立てられています。7700 ORS 技術、および業界屈指の 8800 ICP-MS/MS 機器は、どれほど高レベルのマトリックス環境であっても、ウエハ製造の各段階で、金属不純物の種類、汚染源、濃度を正確かつ効率的に計測します。
製造量を維持するうえで重要なのは、微量の不純物を効率的に検出することです。これを実現するのが、アジレントの自動サンプルハンドリングツールとデータ処理ツールです。化学分析もそのまま実施されるため、試験中の汚染リスクを低減することができます。さらに、アジレントではすべての機器に対して優れたサポート体制を整えており、経験豊富なエンジニアがシリコンウエハメーカーの皆様を支援いたします。
