純度の高い半導体プロセス薬品を

半導体の製造工程では、製品の洗浄に高純度の化学物質が必要です。また、汚染防止の観点から、微量金属元素が含まれていないものでなければなりません。不純物を効果的に検出するには、優れた感度を備え、高マトリックス環境で効果的に動作する分析機器が必要です。

アジレントの ICP-MS ORS および ICP-MS/MS 技術は、自動化ソリューションによって業界屈指の精密さと高効率を実現。スペクトル干渉を低減して、プロセス薬品を直接測定することができます。堅牢性と信頼性に優れたアジレントのメソッドなら、プロセス薬品のサンプルが極めて分析困難な状態にあっても、感度と精度の高い分析が可能になります。