半導体の廃水に関する環境モニタリングを強化

半導体の製造工程が環境に及ぼす影響を最小限に抑えながら、収益性も維持するには、安定性と堅牢性に優れた機器性能が欠かせません。半導体の製造時には、微量濃度のさまざまな汚染物質が発生し、検出には効果的な分析ソリューションが求められます。アジレントの ICP-MS、ICP-OES、ICP-MS/MS の各デバイスは、有機溶媒や酸、塩基、塩、重金属をはじめとした各種の汚染物質を、高い精度で定量することができます。

アジレントの機器は、最先端のサンプル前処理とハンドリングの自動化に対応しており、半導体の廃水の分析において、高度なコンプライアンスと品質管理を実現します。アジレントは、環境のモニタリングと分析において何十年という経験を有しており、ケイ素の成長と酸化から、フォトリソグラフィ、クリーニングまで、半導体のあらゆる製造工程で安全性の確保を可能にします。