レーザアブレーション ICP-MS のご紹介

ICP-MS は高感度の分析装置として幅広く使用されています。固体試料をICP-MSで導入するときは通常、酸分解などの前処理を行って溶液導入します。一方、酸分解に等前処理に時間がかかります。また固体試料全体を酸分解するので、局所分析などには向いていません。レーザアブレーション (LA, Laser Ablation) を導入装置として用いる ICP-MS (LA-ICP-MS)は固体試料を直接導入することができます。また局所分析にもむいています。
LA-ICP-MS は地球科学分野では長く使用されてきました。最近は様々な材料の表面分析やバイオイメージングなどをはじめ、様々な用途に使用されています。


■LA-ICP-MS の構成

Laser Ablation のセルに試料を置きそこにキャリアガスを流した状態でレーザを照射します。レーザは試料表面に焦点を合わせて照射されて、照射によって発生して試料の粒子をプラズマに導入します。
キャリアガスはウオッシュアアウトを短くする理由などにより He が多く使用されます。



レーザ照射パターン
ライン:直線状を照射していきます
ラスター:あるエリア全体を照射します。バルク分析として使用します
シンプルポイント:局所分析のときに使用します



■レーザの種類

パルス幅や波長により様々な種類のレーザがあります。
波長
266nm、213nm
  • Nd-YAG レーザを使用
  • 低価格で広く使用されている
196 ArF エキシマレーザー
  • レーザ出力がより安定
  • 高感度を実現
  • レーザがフラットなので深さ方向の分析に
  • ArFのガス交換が必要
フェムト秒レーザ
  • Elemental Fractionation が 213nm/266nm のレーザに比べて少なく材料分析などにも向いている
  • より高感度の測定を実現


■応用事例

LA-ICP-MS の応用事例や論文などを参照ください