レーザアブレーション ICP-MS の詳細
ICP-MS は高感度の分析装置として幅広く使用されています。固体試料をICP-MSで導入するときは通常、酸分解などの前処理を行って溶液導入します。一方、酸分解に等前処理に時間がかかります。また固体試料全体を酸分解するので、局所分析などには向いていません。レーザアブレーション (LA, Laser Ablation) を導入装置として用いる ICP-MS (LA-ICP-MS)は固体試料を直接導入することができます。また局所分析にもむいています。
LA-ICP-MS は地球科学分野では長く使用されてきました。最近は様々な材料の表面分析やバイオイメージングなどをはじめ、さまざまな用途に使用されています。
■LA-ICP-MS の構成
Laser Ablation のセルに試料を置き、そこにキャリアガスを流した状態でレーザを照射します。レーザは試料表面に焦点を合わせて照射されて、照射によって発生して試料の粒子をプラズマに導入します。
キャリアガスはウオッシュアアウトを短くする理由などにより He が多く使用されます。
レーザ照射パターン
ライン：直線状を照射していきます
ラスター：あるエリア全体を照射します。バルク分析として使用します
シンプルポイント：局所分析のときに使用します
■レーザの種類
パルス幅や波長により様々な種類のレーザがあります。
波長
266nm、213nm
- Nd-YAG レーザを使用
- 低価格で広く使用されている
196 ArF エキシマレーザ
- レーザ出力がより安定
- 高感度を実現
- レーザがフラットなので深さ方向の分析に
- ArFのガス交換が必要
