トリプル四重極 ICP-MS による超純水中のカリウムおよびその他の元素の超微量分析

Agilent 8800 トリプル四重極 ICP-MS によるクールプラズマリアクションセルモードでの超純水中のカリウムおよびその他の元素の超微量分析

Pub.No. 5991-5372JAJP

【要旨】

このアプリケーションノートでは、Agilent 8800 ICP-QQQ と独自のMS/MS モードリアクションセル手法を併用してクールプラズマ法のパフォーマンスを向上し、超純水 (UPW) 中の K で 0.03 ppt (30 ppq) のバックグラウンド相当濃度 (BEC: Background Equivalent Concentration) を実現し、分析対象のその他の元素 (Li、Na、Mg、Al、Ca、Cr、Mn、Fe、Ni、および Cu) でも ppq レベルの BEC を実現する方法について説明します。

分野 半導体/電子材料
キーワード 8800、 トリプル四重極、 ICP-MS、 半導体、 icp-qqq、 MS/MS、 ultrapure water、 UPW、 BEC、 semiconductor、 icp-ms、  
掲載年月 2015/03
ページ数 6ページ (PDFファイルサイズ 601kB)

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Agilent 8800 トリプル四重極 ICP-MS
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メークアップガス (MUGS) 流量に対する K、Ca、および Fe の BEC