Agilent Cary 7000 多角度可変自動測定分光光度計（UMS）と ソリッドオートサンプラの活用

Pub.No. 5991-4072JAJP

UV-Vis スペクトル反射率および透過率測定によるコーティングされたウエハのマッピング

スペクトル反射率（R）および透過率（T）は、材料および光学コーティングの光学特性を評価するための基本的な測定値です。多角度光度分光分析（MPS）では、垂直に近い入射から斜入射までの範囲の入射角（AOI）の角度（Θi）で、サンプルの反射率や透過率を測定します。アジレント・テクノロジーが MPS の分野で開発した Cary 7000 多角度可変自動測定分光光度計（UMS）は、測定間にサンプル着脱をすることなく、サンプル表面の同一のポイントから反射率および透過率を測定します。複数のアクセサリを用意して、切り替えや再構成をする必要がないため、1 つの測定を行うために複数の分析手法を使用することによって発生する、サンプルの不均一性による影響やスペクトルの不整合を排除することができ、これまでにないデータ品質が保証されます。

分野	材料試験・研究
キーワード	UMS; UMA; Cary; 7000; solids; autosampler; multiangle; photometric; spectroscopy; MPS; coating; optical; coating QC; wafer mapping spectral reflection.
掲載年月	2023/02
ページ数	4ページ （PDFファイルサイズ 374kB）

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