Agilent Cary 7000 多角度可変自動測定分光光度計（UMS）と ソリッドオートサンプラによる分析

Pub.No. 5991-4071JAJP

複数光学部品の検査

高品質な光学多層膜コーティングの製造には、薄膜原料の光学性能を正確に測定するための信頼性の高いメソッドが必要とされています。従来、この製造には、垂直入射の透過率（T）とほぼ垂直入射の反射率（R）の測定という 2 つの測定手法が用いられます。T 測定は通常、分光光度計のサンプルチャンバ内で行われ、一方、R 測定は別の反射アクセサリを使用する必要があります。R 測定と T 測定間で機器構成を変更する際にサンプルの再配置が必要となるため、このアプローチを使ってサンプルのまったく同じポイントで両方の測定手法を確実に実施することは困難です。しかしながら、Cary 7000 UMS では、サンプルを再配置することなく、サンプル表面のまったく同じポイントから透過率および絶対反射率の多角度測定を行うことで、この制限が克服されています。このメソッドにより、反射率および透過率のさまざまな測定手法を組み合わせた場合に生じる、わずかな入射角（AOI）の違いによる系統誤差が解消されます。

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分野	材料試験・研究
キーワード	autosampler; solids measurement; optical coating measurement; optical coating QC
掲載年月	2023/02
ページ数	5ページ （PDFファイルサイズ 453kB）

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