Agilent Cary 7000 多角度可変自動測定分光光度計 (UMS) による絶対鏡面反射率の角度依存性の評価

Agilent Cary 7000 多角度可変自動測定分光光度計 (UMS) による絶対鏡面反射率の角度依存性の評価

Pub.No. 5991-2523JAJP

【要旨】

サンプルの光学特性解析をする際、一般的には単一の入射角 (AOI) で反射または透過特性を測定します。ただし、サンプルの特性をより詳細に解析する場合は、複数の AOI で反射率や透過率を測定するのが理想的です。 このアプリケーションノートでは、Cary 7000 多角度可変自動測定分光光度計 (UMS) を用いて、複数の AOI で絶対鏡面反射率を高速かつ自動的に測定する方法について紹介します。また、3 次元 (3-D) プロット値および 2 次元 (2-D) 等高線プロット値を用いて、データを視覚化する方法についても示します。

分野 材料試験・研究
キーワード 入射角、反射、 透過特性、 Cary 7000、 多角度可変自動測定分光光度計、 UMS、 絶対鏡面反射率、 シリコンウェハ、 
掲載年月 2017/05
ページ数 4ページ (PDFファイルサイズ 583kB)

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