FRG-705/FRG-707 フルレンジピラニ & 逆マグネトロンゲージ

真空測定

FRG-705/FRG-707 フルレンジピラニ & 逆マグネトロンゲージ

Agilent FRG-705/FRG-707 ゲージはコンパクトな単一の設計で、ピラニゲージと逆マグネトロンセンサとを組み合わせており、大気～7.6 x 10-10 Torr（1.0 x 10-9 mbar）範囲の測定に対応します。

これらのゲージは超低浮遊磁場を実現できる革新的な設計であるため、幅広いアプリケーションに適しています。デュアルイオン化チャンバ設計により汚染が低減し、製品寿命が長くなります。FRG-705/FRG-707 ゲージは、アナログ出力信号と RS485 シリアル通信で使用できます。

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特長

  • 7.6 x 10-10 Torr～大気（1.0 x 10-9～1000 mbar）範囲でプロセス/ベース圧力を測定
  • 超低浮遊磁場
  • デュアルイオン化チャンバにより長寿命化
  • 優れた点火特性
  • 洗浄および再構築が簡単
  • 超コンパクトサイズ
  • フィラメントの焼き切れなし
  • RS485 デジタルインタフェース（オプション）
  • 高真空圧力モニタリング、蒸発およびスパッタリングシステムのベース圧力、中/高真空範囲における一般的な真空測定やコントロールに最適

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仕様

  • 精度
    • ± 30 %（1 x 10-8 ～ 100 mbar）
    • ± 50 %（100 ～ 1,000 mbar）
    周囲動作温度
    • +5 ～ +55 ℃
    保管周囲温度
    • -40 ～ +70 ℃
    電気接続
    • FCC 68 アプライアンスコネクタ、8 ポール、メス
    最高ベーキング温度
    • 150 ℃
    測定範囲
    • 1 x 10-9 ～ 1000 mbar
    • 7.6 x 10-10 ～ 760 Torr
    レスポンスタイム
    • 10-6 mbar）、≈1000 ms（1 x 10-6 ≤ p ≤ 1 x 10-8 mbar）

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