真空コンポーネントとハードウェア

ConFlat フランジ用ガスケット

ConFlat フランジ（以前の Varian）はアジレントが特許を取得しており、現在は超高真空フランジに対する業界標準になっています。ナイフエッジシールによりガスケットに食い込むことで、UHV/XHV に最適な密閉性を形成します。

銅ガスケットは、純度 99.99 % の電子グレード OFHC 銅でできています。頻繁にベイクアウトが必要な場合は、表面の酸化を低減し、システムの汚染を防止するために、銀メッキガスケットが推奨されます。トルク要件が低いビューポートには、アニール処理銅ガスケットを選択します。FKM ガスケットはベーキングや UHV を対象に設計されていません。

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