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真空コンポーネントとハードウェア
アジレントの可変リークバルブには、キャプチャ金属ガスケットに対応する光学的に平坦なサファイアを備えた可動ピストンが含まれています。これにより、摩擦、焼付、せん断がまったく生じない密閉が形成されます。サファイアの動きは、13,000:1 の機械効率を実現するネジ式シャフト/レバーメカニズムによって制御します。
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