可変リークバルブ

真空コンポーネントとハードウェア

可変リークバルブ

アジレントの可変リークバルブには、キャプチャ金属ガスケットに対応する光学的に平坦なサファイアを備えた可動ピストンが含まれています。これにより、摩擦、焼付、せん断がまったく生じない密閉が形成されます。サファイアの動きは、13,000:1 の機械効率を実現するネジ式シャフト/レバーメカニズムによって制御します。

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特長

  • 特殊用途バルブアプリケーション用
  • 大気圧から 10-11 Torr(mbar)未満までの範囲に対応
  • 手動または空気作動で使用
  • 1 x 10-10 std cc/sec の感度によるヘリウム質量分析システムリークディテクタで検出可能なリークなし
  • 最大流量コンダクタンス 6 L/m
  • 450 ℃ まで加熱可能

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