真空測定
571 ベアード-アルパートイオンゲージチューブ
Agilent 571 ベアード-アルパートゲージは、2 x 10-10~1 x 10-3 Torr(2.6 x 10-10~1.33 x 10-3 mbar)の圧力範囲で高い性能を発揮します。571 ゲージは、長時間の脱ガスや、動作温度での偶発的な大気への曝露に対して耐性を備え、元の性能を回復することが可能です。ゲージコントローラの検査に使用するために、5 x 10-6 Torr 以下に密封されている、リファレンスゲージもご用意しています。
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