PCG-750/PCG-752 シリーズピラニ静電容量式ダイアフラム真空計

真空測定

PCG-750/PCG-752 シリーズピラニ静電容量式ダイアフラム真空計

Agilent PCG-750 シリーズアクティブゲージ、PCG-750、PCG-752 では、単一の設計に、ピラニゲージとセラミック静電容量式ダイアフラムセンサが組み合わされています。これらのゲージは、ガスの種類に左右されず、3.8 x 10-5～1125 Torr（5 x 10-5～1500 mbar）の範囲において優れた精度で測定できます。

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特長

  • 高い精度と再現性が信頼性の高い大気圧モニタリングを実現
  • 高速大気圧検出によりプロセスサイクル時間が短縮
  • 10 mbar 以上でガスの種類に左右されない測定と、任意のガス混合物により安全なベントが可能
  • 任意の方向で取り付け可能な、丈夫でコンパクトなハウジングにより、システムへの導入が簡単
  • 設定値コントロールにより、圧力値を使用して重要な操作を実行可能
  • 修理が簡単で、システム維持費を低減する、交換可能なプラグ & プレイ型センサ
  • ニッケルフィラメントのオプションにより、腐食性のアプリケーションに対応可能
  • 圧力値のモニタリングを促進する、オプションの明るい色の LCD ディスプレイ
  • 真空システムの安全性モニタリング、圧力真空モニタリング、ロードロックコントロール、中/低真空範囲における一般的な真空測定やコントロールに最適
  • 明るくて見やすいディスプレイが搭載された、ポータブルな製品

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仕様

  • 精度
    • ± 2.5 %（950～1050 mbar）
    • ± 5 %（100～950 mbar）
    • ± 15 %（1x10-3～100 mbar）
    • ± 50 %（5x10-5～1x10-3 mbar）
    周囲動作温度
    • +10～+50 ℃
    保管周囲温度
    • -20～+65 ℃
    アナログ出力
    • 0～10.23 VDC
    電気接続
    • FCC、8 ピン
    最高ベーキング温度
    • 80 °C
    測定範囲
    • 5 x 10-5～1500 mbar
    • 3.8 x 10-5～1125 Torr

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サポート情報/商品

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