FRG-720/FRG-730 フルレンジピラニベアード-アルパートゲージ

真空測定

FRG-720/FRG-730 フルレンジピラニベアード-アルパートゲージ

FRG-720 と FRG-730 はコンパクトな単一の設計で、アジレントのピラニゲージとベアード-アルパートセンサとを組み合わせており、3.8 x 10-10 Torr～大気（5 x 10-10 mbar～大気）範囲の測定に対応します。これらの 2 つの技術を単一のユニットに組み合わせることで、ベアード-アルパートセンサが早期に燃焼するのを防止するとともに、シンプルで、簡単に取り付けることが可能です。

お見積りはこちらお問合せはこちら

特長

  • 3.8 x 10-10 Torr～大気（5 x 10-10～1013 mbar）までの広範囲の測定に対応する、ベアード-アルパート/ピラニゲージ技術を統合したフルレンジ真空計
  • ピラニゲージインターロックがベアード-アルパートセンサの早期の燃焼と、高圧操作による汚染の影響を防止
  • 長寿命の酸化イットリウム被膜イリジウムフィラメントにより、広範なアプリケーションに対応する堅牢な設計が実現
  • 設定値コントロール
  • LCD ディスプレイオプションにより、簡単に圧力値をモニタリング
  • Profibus 通信オプションによりシンプルなネットワーク統合が促進
  • 交換用センサをご用意
  • シングルフィラメントバージョンの 720 と、デュアルフィラメントバージョンの 730
  • 工業用コーティングや半導体プロセスから、研究およびラボ環境まで、幅広いアプリケーションに適用可能

ページTOP

仕様

  • 精度
    • ± 15 %（1x10-8～1x10-2 mbar）
    周囲動作温度
    • 0～+50 ℃
    保管周囲温度
    • -20～+70 ℃
    アナログ出力
    • 0～10 VDC
    電気接続
    • D サブ、15 ピン、オス
    最高ベーキング温度
    • 150 °C
    測定範囲
    • 5 x 10-10～1000 mbar
    • 3.8 x 10-10～760 Torr

ページTOP

サポート情報/商品

ページTOP