FRG-700/FRG-702 フルレンジピラニ & 逆マグネトロンゲージ

真空測定

FRG-700/FRG-702 フルレンジピラニ & 逆マグネトロンゲージ

Agilent FRG-700 ゲージは、2 つの測定技術を、コンパクトな単一の経済的なパッケージで提供する、フルレンジ真空計で、3.8 x 10-9 Torr～大気（5 x 10-9～1013 mbar）の範囲でプロセス/ベース圧力を測定できます。対数アナログ出力信号を備えた単一のコンパクトなユニットで、非常に簡単に設置、設定、導入ができます。このコンビネーションゲージは、コストを削減するとともに、貴重なスペースの要件を大幅に低減します。

FRG-702 は、メタルシールフィードスルーを採用した、FRG-700 の全金属製バージョンです。FRG-700（フランジで最大 55 °C）よりも高い温度（フランジで最大 150 °C）で稼働することが可能です。

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特長

  • コンパクトな単一の経済的なパッケージで 2 つの測定技術を提供
  • 3.8 x 10-9 Torr～大気（5 x 10-9 mbar～大気）の範囲でプロセス/ベース圧力を測定
  • 対数アナログ出力信号を備えた単一のコンパクトなユニットで、非常に簡単に設置、設定、導入が可能
  • 高真空圧力モニタリング、蒸発およびスパッタリングシステムのベース圧力、中/高真空範囲における一般的な真空測定やコントロールに最適
  • フィラメントの焼き切れなし
  • 優れた点火特性
  • 洗浄および再構築が簡単
  • 低い所有コスト
  • ステータスをすばやく目視で確認できる、高電圧のための LED インジケータ

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仕様

  • 精度
    • ± 30 %
    周囲動作温度
    • +5～+55 ℃
    保管周囲温度
    • -40～+65 ℃
    アナログ出力
    • 0～10.5 VDC
    電気接続
    • FCC 68 アプライアンスコネクタ、8 ポール、メス
    最高ベーキング温度
    • 150 °C
    測定範囲
    • 5 x 10-9～1000 mbar
    • 3.8 x 10-9～760 Torr
    レスポンスタイム
    • < 10 ms（p > 10-6 mbar）、≈1000 ms（p = 10-8 mbar）

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サポート情報/商品

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