CDG-500 静電容量式ダイアフラム真空計

真空測定

CDG-500 静電容量式ダイアフラム真空計

Agilent CDG-500 シリーズの温度補償型静電容量式ダイアフラム真空計は、高圧領域で最高水準の精度を提供します。フルスケールの測定範囲は 1000~1 Torr(1333~1.3 mbar)です。

CDG-500 シリーズは、耐腐食性高純度アルミナセラミック製のダイアフラムにより、優れた信号安定性、大気からの高速リカバリ、ウォームアップ時間の短縮、比類ない堅牢性を実現します。

薄膜および真空プロセス、産業用真空処理、データ保存、半導体製造プロセスなど、多様なアプリケーションで使用されています。

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特長

  • フルスケール範囲は 1~1000 Torr(1.3~1333 mbar)で、プッシュボタンのゼロ補正と設定値コントロールにより簡単に導入可能
  • 優れた長期信号安定性と再現性
  • 大気圧からの高速リカバリと、起動から短時間での安定化により、プロセスサイクル時間が短縮
  • センサシールド保護機能を備えた耐腐食性セラミックセンサが、アプリケーションの堅牢性を実現
  • 最高水準の精度(測定値の 0.2 %)

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仕様

  • 精度
    • 0.2 %
    周囲動作温度
    • +5~+50 ℃
    保管周囲温度
    • -40~+65 ℃
    アナログ出力
    • 0~10 VDC
    電気接続
    • D サブ、15 ポール、オス
    最高ベーキング温度
    • 110 °C
    レスポンスタイム
    • 30 ms

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サポート情報/商品

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