ヘリウムリークディテクタ

HLD MD30 モバイルドライヘリウムリークディテクタ

Agilent HLD MD30 ドライリークディテクタは、ヘリウム検出用に調整された質量分析計により、ヘリウムをトレーサーガスとして使用して密閉型のデバイスやシステム内の微量のリークを突き止め、測定します。可搬型の HLD MD30 は、優れた精度と堅牢性を兼ね備えています。使いやすいタッチスクリーンインタフェースとメニューを搭載し、パワフルなリーク検出機能にすばやくアクセスできます。また、あらかじめ用意されているアプリケーション設定により、試験サイクルが短縮されます。設定は保存可能なため、再現性を確保できます。ホイール付きのため、移設も簡単です。

オイルフリーの Agilent TriScroll 620 ドライスクロールポンプ（排気速度30 m3/h）を内蔵し、試験対象の部品やシステムの真空化および試験サイクル間の周囲ヘリウムのクリーンアップを非常に迅速に行えます。

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特長

6 種類のアプリケーション設定ガイドにより、機器の性能を最大限に引き出せます。各種パラメータを適切に設定できるため、徹底的かつ効率的に試験を実施できます。
耐久性に優れた高感度の大型産業用タッチスクリーンは、見やすい向きに 180° 回転できます。
わかりやすく直感的なユーザーインタフェースにより、よく使う機能にすばやくアクセスできます。メニュー構造がシンプルなため、必要な設定が簡単に見つかります。
スタートアップウィザードにより、初回起動時の設定を簡単に行えます。
強化されたグラフ作成機能では、拡大してデータを詳しく調べられるほか、設定ポイントの色分け表示、リークレートや圧力レコードの時系列プロットも可能です。
作業面が広く、テスト対象部品やツールなどのスペースを十分に確保できます。
改善された電源オフのプロセスにより、質量分析計の真空状態が維持され、ターボ分子ポンプが保護されます。
移動性に優れ、狭い区域への移動や、半導体製造工場などの製造現場での追跡も容易です。
ドライ真空ポンプのため、試験対象の部品やシステムがオイルで汚染される心配がありません。
電源コードが付属
HLD の重量には、機器の構成および搭載機能が考慮されています。

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仕様

アクセサリとオプション	ワイヤレスリモート（100 m）ディスクリート IO インタフェース過酷環境プローブ自動テストフィクスチャテストフィクスチャケーブル
アプリケーション設定ガイド	スニッフィングヘリウム噴射オートシーケンサ（プログラム可能な試験サイクル）高感度スプリットフロー PPM スニッフィング
キャリブレーション	自動内部および外部試験中にキャリブレーションを確認可能
通信インタフェース	アナログ出力とシリアル通信（標準）ディスクリート IO インタフェース（オプション）
形状	可搬カートに取り付け
最大テストポート圧力	13 mbar（10 Torr、1333 Pa） 200 mbar（150 Torr、20000 Pa）- 総リークモード
ポンプの種類	ドライスクロールポンプ
排気速度	30 m³/h 18 cfm
選択可能な言語	中国語英語フランス語ドイツ語日本語韓国語ロシア語スペイン語
感度	5x10^-12 mbar•L/s、5x10^-12 atm•cc/s、5x10^-13 Pa•m³/s
ユーザーインタフェース	21 cm（8.4 インチ）タッチスクリーン
重量	194 lb 88 kg