DS 402 ロータリポンプ

オイルロータリポンプ

DS 402 ロータリポンプ

DS 402 は、排気速度 17.4 m³/hr または 12.3 CFM、到達圧力 2 x 10-3 mbar 未満のデュアルステージ式オイルロータリポンプです。運転音が非常に静かで、世界各地の電圧に対応できる単相モーターと一体型電源スイッチを搭載しています。オプションで 3 相モーターもお選びいただけます。

ポンプには、停電時に吸気口ポートを遮断する吸気口アイソレーションバルブが組み込まれています。この逆流防止バルブにより粗引きまたはフォアラインの真空を保ち、ポンプオイルによって真空チャンバが汚染されないようにします。DS 402 には手動バガスバラストバルブも搭載されており、開弁時には、仕様に記載されているポンプ定格の水蒸気処理量（550 g/hr）を達成できます。

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特長

  • デュアルステージ設計により、高真空（10-3 mbar）での動作、低い使用温度、高真空時の逆流の最小化、優れた排気効率、高真空（10-2 mbar）領域でのガスバラストを実現
  • 世界各地の電圧と周波数に対応できる単相または 3 相モーターを採用動作電圧を簡単に選択できるため、柔軟に運用でき、計画が容易で、在庫の削減も可能
  • 逆流防止バルブとベントデバイスにより、停止またはアイドル時にポンプを隔離し、電源切断時または停電時での不適切なベントやオイルによる真空システムの汚染を防止
  • ソケットタイプ IEC320 の採用により、標準電源ケーブルを使用でき、ケースの開閉やモーターの配線が不要
  • ガスバラストバルブの開弁により、乾燥空気がポンプの第 2 ステージに取り込まれ、モジュールの温度が上昇して脱ガスが促進され、オイルから水蒸気などの凝縮性ガスを除去
  • 電源コードは別売り

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仕様

  • 寸法（幅 x 高さ x 長さ）
    • 164 mm x 242 mm x 541 mm
    排気口接続
    • 25KF DN
    設計排気量
    • 50 Hz：342 L/min
    • 60 Hz：410 L/min
    • 50 Hz：20.5 m³/h
    • 60 Hz：14.5 cfm
    高さ
    • 242 mm
    注入口接続
    • 25KF DN
    入力電圧
    • 単相モーター：100～120/200～230 V ±10 %、50/60 Hz
    • 3 相モーター：200～220/380～415 V ±10 %、50 Hz
    • 3 相モーター：200～230/460 V ±10 %、60 Hz
    長さ
    • 541 mm
    最小/最大オイル容量
    • 0.5/1 L
    排気速度（50 Hz）
    • 17.4 m³/h
    排気速度（60 Hz）
    • 12.3 cfm
    回転速度（50 Hz 時）
    • 1500 rpm
    到達分圧
    • 10-4 mbar
    到達全圧（ガスバラスト使用時）
    • 1∙10-2 mbar
    水蒸気排気量
    • 350 g/h
    水蒸気許容圧力
    • 30 mbar
    重量
    • 35 kg
    幅
    • 164 mm

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