物理研究のための真空
宇宙研究から量子コンピューティング、また粒子加速器による宇宙の基本的な性質の解明まで、物理学における真空の利用方法をご紹介します。真空技術の基礎を学び、適切な真空システムの選択方法を理解することが、成功への推進力となります。
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- 素粒子物理学とプラズマ物理学における真空の活用
高エネルギー粒子およびプラズマ物理学は、最小スケールにおける宇宙の基本的な構造と作用を解明します。このレベルで物質を研究するために、科学者は、特殊な真空加速器内で亜原子粒子や粒子流を単離します。このような特別な環境を設計することは重大な課題であり、真空技術がきわめて重要な役割を果たしています。これらのシステムは、粒子やプラズマからターゲットまでの経路を妨げないために必要な極低圧を生成して、測定し、維持するために、高度な真空技術を活用しています。
アジレントは、数十年にわたり、イオンゲッターポンプの発明者である Varian として、イノベーションの遺産を相続し、真空製品の創出、サービス、エキスパートによるサポートを通して、科学研究のパートナーであり続けてきました。
宇宙研究から量子コンピューティング、また粒子加速器による宇宙の基本的な性質の解明まで、物理学における真空の利用方法をご紹介します。真空技術の基礎を学び、適切な真空システムの選択方法を理解することが、成功への推進力となります。
アジレントは、業界トップレベルの堅牢なターボ分子真空ポンプおよびコントローラを提供しており、幅広いアプリケーションにわたり高い信頼性を実現しています。
アジレントのターボポンプは 70 L/s から 2,300 L/s に及び、徹底的な検査と信頼できる販売後のサポートに支えられた革新的な設計が特徴です。
チタンサブリメーション真空ポンプ（TSP）は、チタンが昇華する温度までチタンフィラメントを加熱することで動作します。チャンバの壁面に堆積したチタンの薄膜は反応性が高く、残留ガスと結合することにより、チャンバ内のガス圧を効果的に低下させます。
イオンゲッターポンプ（IGP）は、信頼性と清浄度が優れていること、およびビーム軌道を乱す可能性のある振動が存在しないことにより、最新の加速器施設での使用に特に適しています。
Agilent Ion CombiNEG ポンプは、Agilent イオンポンプと SAES 非蒸発型ゲッター（NEG）カートリッジを組み合わせることにより、10–12 mbar までの低圧力を実現します。これらのポンプは、UHV および XHV アプリケーションに最適なソリューションです。
Agilent イオンポンプおよびコントローラは、お客様の真空要件に合わせて多様な構成で利用できます。これらは、安定した超高真空または極高真空（UHV または XHV）条件が不可欠なアプリケーションにおいて最適な選択肢です。
Agilent VHS および HS ディフュージョンポンプは、排気速度が 65～28,000 L/s、動作範囲が 1 x 10-3～5 x 10-9 Torr です。アジレントの特許取得済み Bulge ボディディフュージョンポンプ設計は、ポンプのスループットを最大化すると同時に、圧力安定性を保ち、逆流を最小限に抑えます。
真空システムでは、超高真空（UHV）を生成する前の準備段階として低真空が使用されます。このプロセスでは通常、1 x 10-3 Torr 超の圧力で動作する粗引ポンプを使用して、システム内のほとんどの空気分子を排気します。UHV 用のポンプは大気圧で動作するようには設計されていないため、この段階は非常に重要です。低真空が生成されると、さらに圧力を下げるために、UHV ポンプが処理を引き継ぎます。プラズマ物理学では、オイルフリーのドライスクロールポンプは、オイルによる汚染のリスクなしに、UHV チャンバの高速ポンプダウンが可能です。
大気から UHV/XHV までに対応する、アジレントのフルレンジ真空ゲージおよびゲージコントローラは、優れた精度と信頼性で真空をコントロールして測定できます。ヘリウムリークディテクタは、真空気密性を確保します。Agilent ヘリウムリークディテクタは、堅牢で高精度、かつ使いやすい機器であり、リークを正確かつ効率的に検出します。
