Turbo-V 1K-G ポンプ

ターボポンプとコントローラ

Turbo-V 1K-G ポンプ

高スループットの Agilent Turbo-V 1K-G ターボ分子ポンプは、排気速度 1000 L/s の真空専用ポンプシステムです。Turbo-V 1K-G は産業用、特に薄膜形成機器のターボポンプとして設計されています。そのポンプステージとポンプ構造全体は、高温の負荷がかかる中、極めて大流量のアルゴンを扱えるように最適化されています。

産業用真空コーティングの代表的なアプリケーションには、太陽電池やフラットパネルディスプレイの製造があります。Turbo-V 1K-G は、その堅牢な設計と、高度な電子装置（ラック型または内蔵ソリューション）により、真空コーティング業界に最適なポンプソリューションとなっています。

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特長

  • 薄膜形成向けに設計されたアプリケーションに特化したポンプソリューション
  • 超高流量のアルゴンを扱えるように最適化
  • 高レベルのガス流量に対応し、DN 160 または 200 の高スループットアプリケーションでの運用を可能に
  • 頑丈な設計と高効率の冷却システムで連続運転を実現
  • ポンプガスのパージにより、ポンプのベアリングを保護。システムの汚染物質や微粒子があっても、シームレスな運転を可能に
  • 低ノイズで、システムに影響なし
  • 小型で、どのような配置も可能なため統合が簡単
  • 運用コストのかからない、メンテナンスフリーのベアリング
  • Vacuum Link アプリを介した無線コントロールに対応し、外出先でもポンプ操作可能
  • 多機能エレクトロニクスインタフェース

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仕様

  • 使用周囲温度
    • +5～+35 ℃
    保管周囲温度
    • -20～+70 ℃
    到達圧力
    • < 1 x 10-8 Pa
    圧縮率 H2
    • 1.5 x 104
    圧縮率 He
    • > 4 x 104
    圧縮率 N2
    • > 5 x 107
    フランジタイプ
    • DN 160 ISO-F
    • DN 200 ISO-F
    フォアラインフランジサイズ
    • KF 25 NW
    • KF 40 NW
    フォアライン圧力の限界値 - N2
    • 3 x 10² Pa
    公称回転速度
    • 45660 rpm（動作周波数/761 Hz）
    動作位置
    • 任意
    排気速度 - Ar
    • 1040 L/s（ISO 200）
    排気速度 - H2
    • 730 L/s（ISO 200）
    排気速度 - He
    • 1150 L/s（ISO 200）
    排気速度 - N2
    • 1080 L/s（ISO 200）
    粗引き用ポンプの推奨容量
    • 20 m³/h
    規格と認定
    • UNI EN 292-1
      UNI EN 292-2
      EN 55011Cl.A
      EN 61000-4-2
      EN 61000-4-3
      EN 61000-4-4
      EN 61000-4-5
      EN 61010-1
      EN 1012-2
    起動時間
    • < 5 min
    振動レベル
    • < 0.01 μm（注入口フランジで）
    重量
    • 26.8 kg

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