Turbo-V 2300 TwisTorr ポンプ

• DN 250 フランジで、軽量ガスに対する高い圧縮率
• 炭化水素フリーでクリーンな真空システムを実現
• 運用コストのかからない、メンテナンスフリーのベアリング
• Vacuum Link アプリを介した無線コントロールに対応し、外出先でもポンプ操作可能
• 電子装置を内蔵しない耐放射線および耐磁場設計で、厳しい磁界や放射線環境でも動作
• 低い電磁放射が、アプリケーションプロセスへの非干渉を保証

• 使用周囲温度	+5～+35 ℃
  保管周囲温度	-20～+70 ℃
  到達圧力	1 x 10-8 Pa
  圧縮率 H2	4 x 104
  圧縮率 He	8 x 105
  圧縮率 N2	> 8 x 108
  フランジタイプ	DN 250
  フォアラインフランジサイズ	KF 40 NW
  フォアライン圧力の限界値 - N2	4 x 10² Pa
  最大ガススループット - Ar、水冷	3 x 10² Pa L/s、200 sccm
  最大ガススループット - N2、水冷	10 x 10² Pa L/s、600 sccm
  ノイズレベル	< 60 dB(A)
  公称回転速度	33300 rpm（動作周波数/555 Hz）
  動作位置	垂直/上下逆
  排気速度 - H2	1500 L/s
  排気速度 - He	1800 L/s
  排気速度 - N2	2050 L/s
  粗引き用ポンプの推奨容量	30 m³/h
  起動時間	< 6 min
  振動レベル	< 0.01 μm（注入口フランジで）
  重量	54.2 kg

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