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イオンポンプとコントローラ
イオンポンプ用ヒーターは、どのポンプサイズ用も最も効果的にベークアウトを行えるように特別に設計されています。ヒーターは、随時ベークアウトして残留ガスを排除することで、イオンポンプの UHV/XHV の達成と維持を助けます。
アジレントの OEM ヒーターでは効率的な加熱が可能なため、電力および運用コストを削減できます。
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