4UHV イオンポンプコントローラ

イオンポンプとコントローラ

4UHV イオンポンプコントローラ

Agilent 4UHV イオンポンプコントローラでは、最大 4 台のイオンポンプに対する電力供給、制御、およびモニタリングを同時かつ個別に行えます。タイプ（ダイオード、ノーブルダイオード、StarCell、トライオード）やサイズ（2～2,500 L/s）を問わず、あらゆるイオンポンプの始動と制御が可能です。4 行の大型 LCD ディスプレイを搭載しているため、各ポンプの電圧値、電流値、圧力値を同時に表示できます。

アジレント、Varian、または他社製のイオンポンプを 1～4 台使用している場合は、4UHV をお選びください。コントローラには、アジレントのポンプ用のポンプ構成がプログラムされている他、その他のイオンポンプを操作するためのプログラム可能な出力が備わっています。また、STEP 電圧および IProtect 機能により、始動圧力から XHV まで、最適な排気速度と圧力値が確保されます。

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特長

  • ニーズに応じて正極（ダイオード、ノーブルダイオード）または負極（StarCell、トライオード）出力を選択可能
  • 可変電圧機能により、排気速度を最大限に高めながら漏れ電圧を最小限に抑えることで、1 x 10–10 mbar までの圧力をきわめて正確に測定
  • 他社製のイオンポンプを操作するためのプログラム可能な出力を搭載
  • 取り込みプロセスで高速レスポンスをトリガーするため、またはアクション（圧力の急上昇が検出された場合のバルブの閉弁など）をトリガーするうえで出力信号が重要な役割を担う場合は、高速レスポンスモデルを使用可能
  • 組み込みの設定値、リモート操作、および RS232/485 コンピュータインタフェースを標準装備（Profibus およびイーサネットはオプション）
  • STEP モードでは、あらゆる圧力で最適な排気速度になるように高電圧を調整
  • IProtect は、リーク時またはガス負荷の増加時に高電圧出力を無効化することにより、イオンポンプの寿命を維持
  • ポンプからプラグが取り外されると、インターロックシステムにより直ちに高電圧を遮断
  • 電磁波の影響を受けやすい用途に関する現行の EMC 規格に適合し、CE 3rd edition の規制に完全に準拠した設計
  • 電源コードは付属しないため、別途注文が必要

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仕様

  • 通信インタフェース
    • RS232
    • RS485
    • イーサネット
    • Profibus
    電流測定範囲
    • 10 nA～100 mA
    電流分解能
    • 10 nA
    寸法（幅 × 高さ × 長さ）
    • 211.4 mm x 177 mm x 400.5 mm
    ディスプレイ
    • 4 行、20 文字
    HV コネクタ
    • SHV
    • Fischer
    高さ
    • 177 mm
    入力周波数
    • 50/60 Hz
    入力電圧
    • 100～240 VAC（+/-10 %）
    長さ
    • 400.5 mm
    最大入力電力
    • 600 VA
    最大出力電力
    • 400 W
    動作モード
    • ローカル
    • シリアル
    • リモート
    使用環境相対湿度
    • 最大 90 %、非結露湿度
    使用環境温度
    • 0～40 ℃
    出力電圧
    • 7 kV
    適合規格および認定
    • CE
    • C_CSA_US
    重量
    • 6.5 kg
    幅
    • 211.4 mm

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