半導体製造の超純水を、高精度、高信頼性、高効率で分析

半導体製造の超純水を、高精度、高信頼性、高効率で分析

半導体の製造工程で使用される超純水の汚染レベルを可能な限り低く保つことは、重要な課題です。製造量に大きな影響をもたらすことなく効果的に使用できるのは、微量不純物を正確かつ効率的に検出できる機能を備えた高精度の分析システムだけでしょう。
Agilent 7900 ICP-MS および 8800 ICP-MS/MS システムは、検出濃度が極めて低い場合でも、信頼性と再現性の高い分析を実現します。サンプル自動化ツールとデータ処理ツールも幅広く搭載し、効率にも優れています。ケイ素の洗浄など工程全体を通して、コスト効率の高い超純水モニタリングが可能です。また、アジレントではすべての機器に対して広範で優れたサポート体制を整えており、専門のエンジニアが皆様を支援いたします。