微量不純物の高感度検出と汚染管理
集積回路における半導体の小型化が続くなか、微量の不純物、とりわけ金属が、製造量に与える影響は大きくなっています。半導体の純度や微粒子、充填剤を効果的に評価するには高い感度が求められますが、そのような感度を実現できるのは、アジレントの 8900 トリプル四重極 ICP-MS や 7900 ICP-MS といった機器だけです。
アジレントは最高の感度をもたらした新世代の技術で、最先端の汚染管理を実現します。Cary 600 シリーズ FTIR と 4300 ハンドヘルド FTIR では、表面の不純物の検出および少量のサンプルからの不純物の検出が可能です。アジレントのソリューションは化学物質の直接分析が可能で、希釈やサンプル汚染の問題を解決できます。また、サンプルハンドリングの製品群や自動化ツールを幅広く取り揃えており、比類のないサポート体制で半導体分野のお客様を支援します。
