Intuvo ガスクリーンフィルタシステム 仕様

品名 キャリアガスフィルタ
機能 シングルコンビネーションフィルタ、水分/酸素/有機化合物を除去
インジケータの色の変化 酸素: 緑色から灰色へ
水分: 緑色から薄茶色へ
除去能力 酸素 100 mL、水 1 g、有機物については不純物によって異なる
流量 1～10 L/min 動作時のアウトレット濃度 酸素 < 50 ppb
水分 < 0.1 ppm
有機物 < 0.1 ppm