クリーンルーム汚染物質の分析

MARKES TD(加熱脱着装置)によるクリーンルーム汚染物質の分析

Pub.No. GC-MS-201306NK-003

【要旨】

MARKES社加熱脱着装置(TD)は、高生産性(100検体のオートサンプラ)、低ランニングコスト(冷媒不要)、再捕集機能(再分析可能)の3つの特長を持っています。本アプリケーションノートでは、クリーンルーム汚染物質(環状シロキサン、BHT、フタル酸エステル類、リン酸エステル類、アジピン酸エステル類など)について、MARKES社TDで検討を行い、良好な結果が得られましたので報告します。

分野 環境
キーワード 加熱脱着装置、ペルチェ冷却(電子冷却)、再捕集、クリーンルーム汚染物質、GC/MS 
掲載年月 2013/06
ページ数 2ページ (PDFファイルサイズ 333kB)

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分析結果の一例

分析結果の一例 イメージ画像

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汚染物質(各10ng)を添加したオリジナルチューブ及び
その再捕集チューブを測定したTICC