ハイテク業界で使用されているチタン材料の純度と 性能の確保

Pub.No. 5994-9024JAJP

Agilent 9500 ICP-QQQ を用いた 高純度チタンの分析

高純度チタン（Ti）は、半導体製造や航空宇宙工学などのハイテク業界において非常に重要な材料です。半導体アプリケーションでは、Ti は、薄膜堆積用のスパッタリングターゲットとして広く使用されていますが、この場合、微量であっても不純物が存在していれば、膜の均一性、電気的特性、およびデバイスの信頼性に悪影響を及ぼす可能性があります。航空宇宙アプリケーションでは、Ti はその高い強度対重量比と耐腐食性から高く評価されており、エンジン部品や構造部品に最適な材料となっています。ただし、不純物が存在すると、特に過酷な条件下での動作時において、部品の機械的完全性が損なわれ、長期的性能が低下する場合があります。

このような過酷な環境において、Ti の信頼性と機能性を確保するには、原材料中の微量不純物を正確に定量する必要があります。トリプル四重極誘導結合プラズマ質量分析（ICP-QQQ）は、スペクトル干渉を強力に抑制し、更なる低い検出限界（DL）を実現しているため、固体中の不純物を 1 mg/kg（ppm）レベル以下で正確に測定することが可能です。

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