積層材料におけるマイクロメートルスケールの高速層厚測定と組成の同定

Pub.No. 5994-8799JAJP

Agilent 8700 LDIR ケミカルイメージングシステムによる薄型多層分析

多層積層材料は構造的、科学的に複雑な系の代表です。その多くは、わずか数百ミクロンという総厚を持ちながら、それぞれが特定の機能的役割を果たすように設計された複数のポリマー層で構成されています。各層は、その化学組成や厚さに応じて機械的強度、バリア性能、環境保護など固有の特性に寄与します。欠陥や層厚のばらつきは製品の完全性を損なう原因になるため、これらの薄層を正確に同定し、測定することがきわめて重要です。欠点は損傷となって不具合を引き起こし、ユーザーの安全性を脅かす可能性もあります。

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