Agilent 8900 ICP-QQQ によるイソプロピルアルコールの超微量元素の自動分析

Agilent 8900 ICP-QQQ によるイソプロピルアルコールの超微量元素の自動分析

Pub.No. 5994-0273JAJP

【要旨】

Agilent ICP-MS システムは、ラボの要件に応じて、さまざまな自動サンプル導入システムと統合できます。希釈、酸性化、スパイク添加、キャリブレーションなど、さまざまなサンプルハンドリングステップを自動化するシステムを利用できます。半導体サンプルハンドリングを自動化するのに、最もシンプルで使いやすく、コスト効率の高いシステムの 1 つは、(株) イアスの自動標準液添加装置 (ASAS) です。ASAS では、オンラインスパイクを自動的に添加して、標準添加メソッド (MSA) や外部検量線を生成できます。自動サンプル導入システムによって、分析を簡素化できるだけでなく、手作業によるサンプルハンドリング、エラー、サンプル汚染の危険性を低減することができます。 今回の実験では、イアス (日本、東京) の ASAS と Agilent 8900 トリプル四重極 ICP-MS (ICP-QQQ) を用いて、IPA 中の微量元素不純物をオンライン MSA で定量しました。このメソッドでは、高度なスキルを持たない分析者でも、IPA 中の超微量レベルの不純物を正確かつ確実に定量できます。

分野 半導体/電子材料
キーワード Isopropyl Alcohol、 ICP-QQQ、 8900、 半導体、イアス、ICP-MS、 
掲載年月 2018/12
ページ数 8ページ (PDFファイルサイズ 855kB)

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