品質管理のための回折格子効率の高速自動測定 Agilent Cary 7000 UMS による測定時間の短縮と手動作業の低減

品質管理のための回折格子効率の高速自動測定 Agilent Cary 7000 UMS による測定時間の短縮と手動作業の低減

Pub.No. 5991-9382JAJP

【要旨】

今回の研究では、製造環境における回折格子のルーチン分析への Cary 7000 UMS の適用について調べました。 Agilent Cary 7000 UMSでは、複数の角度での光度分光測定を容易に分析し、格子の特性解析を選択した入射角で柔軟に行えました。また、格子と入射光の偏光をプログラムにより回転させ、サンプル測定プロセスをコントロールすることで、データ採取プロセスを全自動で実行できました。ほとんどの測定は 30分未満で完了しました。また、ユーザーの介入が不要なため、長時間にわたる夜間測定も可能です。Cary 7000 UMSは回折格子の特性解析に適した高速かつ実用的な分析ツールであることが実証されました。

分野 材料試験・研究
キーワード angle of incidence、 AOI、 grating measurements、 diffraction gratings、 grating QC、 dispersion spectra、 reflection spectra、 cary、 7000、 UMS 
掲載年月 2019/05
ページ数 6ページ (PDFファイルサイズ 982kB)

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