ICP-MS によるナノ粒子分析

ICP-MS によるナノ粒子分析

Pub.No. 5991-8828JAJP

【要旨】

単一粒子 (sp) ICP-MS を使用したナノ粒子の測定において、ICP-MS の性能特性として最も重要になるのが感度です。感度は、単位濃度あたりのカウント毎秒で表されます (例: cps/ppb)。低いバックグラウンド、短い最小ドウェルタイム、測定間のセトリング時間ゼロといった他の機器パラメータは、分析を最適化するうえで重要になります。ただし、十分な感度がなければ、そもそも微小粒子を検出できないため、これらのパラメータは無駄になります。

分野 半導体/電子材料材料試験・研究環境
キーワード ICP-MS、ナノ粒子、SP-ICP-MS 
掲載年月 2018/05
ページ数 2ページ (PDFファイルサイズ 630kB)

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