大型サンプルの効率的なハンドリングと複数の UV-Vis-NIR 反射率測定

Pub.No. 5991-7530JAJP

膜付光学ウエハの分光光度空間プロファイリング

競争力のある光学薄膜コーティングの開発では、費用対効果の高い分光特性解析を頻繁に行うことが重要です。完全に自動化された無人の分光測定は、分析あたりのコストを低減し、生産性を高め、品質保証プログラムを強化するのに役立ちます。製造プロセスでは、通常はフル稼働する蒸着チャンバで、円形の大型基板ウエハがコーティングされます。ウエハを切断する前に、効率的で生産性の高い光学特性解析ツールを用いて、ウエハ表面全体のユーザー定義ポイントで測定し、正確かつ有意義な情報を得る必要があります。Cary 7000 多角度可変自動測定分光光度計（UMS）および多角度可変自動測定アクセサリ（UMA）用に設計された Agilent ソリッドオートサンプラは、直径 200 mm（8 ''）までのサンプルをマウントし、UV-Vis および NIR スペクトル範囲で角度絶対反射率および透過率データを収集できます。

分野	材料試験・研究
キーワード	wafer; optical coating; coating quality; optical component quality
掲載年月	2021/11
ページ数	5ページ （PDFファイルサイズ 580kB）

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