MS/MS モードの Agilent 8900 ICP-QQQによる、超高純度の半導体グレードの硫酸に含まれる微量元素の測定

MS/MS モードの Agilent 8900 ICP-QQQによる、超高純度の半導体グレードの硫酸に含まれる微量元素の測定

Pub.No. 5991-7008JAJP

【要旨】

Agilent 8900 の半導体仕様 ICP-QQQ を使用し、半導体グレードのH2SO4 に含まれる超微量の 42 種類の元素を測定できました。1/10に希釈した H2SO4 では、すべての元素について、20 ppt レベル (Si では 2 ppb) で優れた添加回収率を達成しました。これは、高純度プロセス化合物のルーチン分析において、8900 ICP-QQQ メソッドが適していることを示しています。

分野 半導体/電子材料
キーワード 硫黄、 半導体、 ICP-QQQ、sulphur、 semincon、 semiconductor、 h2so4、 sulphuric acid、 sulfuric acide 
掲載年月 2016/07
ページ数 6ページ (PDFファイルサイズ 626kB)

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