Agilent 8900 ICP-QQQ を用いた極微量濃度レベルのリン、硫黄、ケイ素、塩素の分析

Pub.No. 5991-6852JAJP

このアプリケーションノートでは、ICP-MS による分析がきわめて困難である元素のリン (P)、硫黄 (S)、ケイ素 (Si)、塩素 (Cl) に対する、8900 ICP-QQQ の分析性能について説明します。

分野	材料試験と研究
キーワード	リン、硫黄、ケイ素、塩素、 P、 S、 Si、 Cl、 ICP-QQQ、 8900、半導体、クールプラズマ、コリジョン、リアクションセル
掲載年月	2016/06
ページ数	6ページ（PDFファイルサイズ 824kB）

Agilent 8900 ICP-QQQ を用いた極微量濃度レベルのリン、 硫黄、ケイ素、塩素の分析