Agilent 8900 ICP-QQQ を用いた極微量濃度レベルのリン、 硫黄、ケイ素、塩素の分析

Agilent 8900 ICP-QQQ を用いた極微量濃度レベルのリン、 硫黄、ケイ素、塩素の分析

Pub.No. 5991-6852JAJP

【要旨】

このアプリケーションノートでは、ICP-MS による分析がきわめて困難である元素のリン (P)、硫黄 (S)、ケイ素 (Si)、塩素 (Cl) に対する、8900 ICP-QQQ の分析性能について説明します。

分野 半導体/電子材料
キーワード リン、 硫黄、 ケイ素、 塩素、 P、 S、 Si、 Cl、 ICP-QQQ、 8900、 半導体、クールプラズマ、コリジョン、リアクションセル 
掲載年月 2016/06
ページ数 6ページ (PDFファイルサイズ 824kB)

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