フーリエ変換赤外分光光度計を用いた顕微 ATR イメージングによるダメージフリーの不良/異物分析

フーリエ変換赤外分光光度計を用いた顕微 ATR イメージングによるダメージフリーの不良/異物分析

Pub.No. 5991-5223JAJP

【要旨】

Agilent Cary 620 FTIR 顕微イメージングシステムを使用すれば、電子部品上のわずか数um 程度の微小な異物を、非破壊的な手法により数分で、損傷や痕跡を残すことなく、容易に定性分析できます。

分野 半導体/電子材料材料試験・研究
キーワード フーリエ変換、顕微、 ATR イメージング、 ダメージフリー、 不良分析、異物分析、FTIR、 620、 660、 FPA、 electronics、 semiconductor、 defect、 analysis、 non-destructive、 Ge、 ATR、 Resolutions Pro 
掲載年月 2015/01
ページ数 6ページ (PDFファイルサイズ 525kB)

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使用分析装置
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Agilent Cary 620 FTIR 顕微イメージングシステム
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分析結果の一例

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LCD カラーフィルタ内の微粒子汚染 A) 汚染異物の可視イメージ、B) 1017 cm-1 での吸光度をベースとするケミカルイメージ、C) 異物の 1 つからの単一ピクセルスペクトル