半導体グレードの高純度硫酸中の検出困難な元素の測定

トリプル四重極 ICP-MS による半導体グレードの高純度硫酸中の検出困難な元素の測定

Pub.No. 5991-2819JAJP

【要旨】

Agilent 8800 トリプル四重極 ICP-MS を MS/MS モードで動作させることにより、CRC-ICP-QMS では除去できないスペクトル干渉を排除できます。これにより、従来の ICP-QMS では成し得ない方法でリアクションセルを適用させることが可能になります。8800 ICP-QQQ を用いると、硫酸などの高純度プロセス薬品に含まれる重要な分析対象物のルーチン分析や認定が可能になります。

分野 半導体/電子材料
キーワード 半導体、 硫酸、 8800、 triple quad、 ICP-QQQ、 ICP-MS/MS、 tandem mass spectrometry、 MS/MS、 Q1、 Q2、 Octopole Reaction System、 ORS、 ORS3、 ammonia mass shift method、 oxygen mass-shift、 reaction mode、 titanium、 chromium、 method of standard additions、 MSA  
掲載年月 2015/04
ページ数 6ページ (PDFファイルサイズ 610kB)

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使用分析装置
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Agilent 8800 トリプル四重極 ICP-MS
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MS/MS マスシフトモードで NH3 セルガスを使用して
測定した Ti の検量線