トリプル四重極 ICP-MS を用いた、NMP 中の硫黄、リン、ケイ素、塩素の微量分析

Agilent 8800 トリプル四重極 ICP-MS を用いた、NMP 中の硫黄、リン、ケイ素、塩素の微量分析

Pub.No. 5991-2303JAJP

【要旨】

S、P、Si、Cl の分析は、従来の ICP-MS では難しく、NMP など有機溶媒マトリクスが存在すると更に困難でした。この資料では、Agilent 8800 トリプル四重極の MS/MS モードの特長であるマスシフトメソッドを用い、全ての元素において低い BEC を算出し、ICP-QQQ の柔軟性と能力についての検証を紹介します。

分野 半導体/電子材料
キーワード S、P、Si、Cl、 ICP-MS、 NMP、 8800、 qqq、  
掲載年月 2013/06
ページ数 4ページ (PDFファイルサイズ 705kB)

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使用分析装置
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Agilent 8800 シリーズトリプル四重極 ICP-MS
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シングルクワッドモードの O2 マスシフトメソッド使用時を用い、従来の ICP-QMS と同様の性能状態で測定されたの NMP 中の P (上)と S (下) の検量線。