トリクロロシラン中の微量元素分析

Agilent 7700s ICP-MS によるトリクロロシラン中の微量元素分析

Pub.No. 5990-8175JAJP

【要旨】

太陽電池の製造に必要な高純度シリコン (PV シリコン) を製造するためには、PV シリコンの製造に用いられる中間物質であるトリクロロシラン(TCS) 中の金属不純物を厳密にコントロールする必要があります。新たに開発したサンプル前処理手順と Agilent 7700s ICP-MS を用いて、TCS 中の不純物を測定するための効果的な分析メソッドを開発しました。添加回収試験では、ホウ素やリンを含む 33 の元素について、このメソッドの有効性が証明されました。また、2 種類の TCS サンプルも分析しました。TCS を分析できれば、PV シリコンメーカーは、PV シリコンの製造に先立ち、TCS に金属不純物が含まれていないかを確認できます。

分野 半導体/電子材料
キーワード 7700、 ICP-MS、 オクタポールリアクションシステム、 ORS、 ORS3、 トリクロロシラン、微量元素分析、ヘリウム、 
掲載年月 2012/01
ページ数 6ページ (PDFファイルサイズ 624kB)

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使用分析装置
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Agilent 7700s ICP-MS
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分析結果の一例

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TCS における 5 ppb 添加回収試験。サンプル蒸発中に揮発性元素が失われていないことが確認され、すべての分析対象元素で良好な回収率 (80 ~ 120 %) が得られています。