Pub.No. 5991-0320JAJP
Agilent 8800 トリプル四重極ICP-MS を用いた、20 % メタノール中のケイ素・リン・硫黄の分析
Agilent 8800 トリプル四重極 ICP-MS では、有機溶媒中のケイ素、リン、硫黄の測定において、従来のシングル四重極 IPC-MSと比べ、著しく感度が改善され、干渉が低減されました。MS/MS モードを駆使し、Q1 で測定対象元素の質量数のみを進入させることにより、余計なイオンが存在せず、干渉除去がより効率的に実現できます。
| 分野 |
半導体/電子材料、エネルギー＆石油、金属、鉱業 |
| キーワード |
半導体分析、メタロミクス、 石油、エネルギー、 ケイ素、リン、 硫黄、 ICP-MS、 QQQ、 |
| 掲載年月 |
2012/10 |
| ページ数 |
6ページ （PDFファイルサイズ 1005kB） |
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（PDF 1006KB）
使用分析装置
Agilent 8800 シリーズ トリプル四重極 ICP-MS
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分析結果の一例
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シングルクワッド (左) と MS/MS モード (右) で測定されたケイ素、リン、硫黄の検量線。シングルクワッドモードでは、多原子干渉のためメタノール中の硫黄のスパイク濃度の測定はできませんでした (左)。単位は全てug/lL (ppb)
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