Agilent 7500cs ICP-MSによるフォトレジストおよびその溶媒の分析

Agilent 7500cs ICP-MSによるフォトレジストおよびその溶媒の分析

Pub.No. 5989-0629JAJP

【要旨】

本報では、リアクションセルを搭載したICP質量分析装置(ICP-MS)を用いてフォトレジスト(感光性樹脂)を分析 する手法を紹介します。高感度型のオクタポールリアクションシステム(ORS)を搭載したAgilent 7500cs ICP-MS を使用すると、フォトレジストの品質を維持する上で重要な元素全てを測定することができます。B, Mg, Al, K, Ca, Ti, Cr, Fe, Znなどの元素に干渉する、プラズマ起因やマトリクス起因の多原子干渉イオンを、ORSによって抑制できま す。このような干渉成分が低減されることにより、四重極マスフィルタ型のICP-MSの分析性能は、より拡大されま す。本手法では、サンプルの前処理も簡単です。フォトレジスト(樹脂濃度30%)を適当な溶媒で10倍に希釈するだ けで、7500csで直接分析することができます。

分野 半導体/電子材料
キーワード 7500、icp-ms、ors、フォトレジスト、5989-0629JAJP  
掲載年月 2004/02
ページ数 6ページ (PDFファイルサイズ 416kB)

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使用分析装置
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Agilent 7500cs
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分析結果の一例

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3%フォトレジスト中の35元素の2時間安定性