感度、信頼性、堅牢性に優れた不純物分析で生産量を向上

半導体の製造材料に含まれる不純物を正確に検出することは、コンポーネントの質と量を確保するうえで不可欠です。現代では半導体の小型化が進む一方で、コンポーネントの速度や収益性に対する潜在的な負の影響が高まっています。また、マトリックス干渉によって金属の効果的な検出が難しくなります。

アジレントが提供する ICP-MS、ICP-OES、FTIR の各システムは、使いやすく信頼性に優れており、半導体における不純物分析の効率の限界を押し上げることに成功。さまざまな材料のメーカーで、成果物の品質維持を実現しています。7900 ICP-MS および 8800 ICP-QQQ は、業界有数の高感度で微量金属元素を正確に検出します。さらに Cary 600 シリーズおよび ExoScan FTIR システムが、サンプル量が少ない場合でも不純物を効果的に分析します。自動化ソリューションによる効率の向上で、さらに優れたパフォーマンスを発揮することもできます。