高感度反射対物鏡アクセサリ 

FTIR

高感度反射対物鏡アクセサリ 

高感度な反射測定をサポートする対物鏡

高感度反射カセグレン鏡は、迷光や光のアーチファクトを排除して、金属基板上の薄膜を高感度に分析することができます。このカセグレン鏡は、従来のシュバルツシルト型対物鏡で起こる光学収差を排除する一組の非球面鏡の組合せによって構成されています。可視観察時と測定時はレバーによって切り替えることができ、可視観察時はクリアーな可視画像でサンプルを観察し、測定時はデータのノイズを増加させる迷光を最小限に抑えます。この設計では、オフアクシス収差が排除され、入射角が 65 度~ 85 度に制限されます。高感度反射カセグレン鏡は、Agilent 610 FTIR と 620 FTIR の両方で使用できます。

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特長

  • 通常の反射測定では測定が困難な、金属基板上の薄膜を高感度に測定。
  • 迷光を最小限に抑え、ノイズを低減させることで、高感度な反射測定を実現。
  • オフアクシス収差を排除。
  • Grazing angle(65°~85°)に入射角度を制限。
  • 610 FTIR620 FTIR のいずれでも使用可能。

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