フローインジェクション-ICP-MSを用いた高純度鉄中の微量元素の分析-

フローインジェクション-ICP-MSを用いた高純度鉄中の微量元素の分析-

Pub.No. TI 15F1D1-017

【要旨】

近年、高純度材料は電子工業分野をはじめとして様々な分野で使用されています。それに伴い、材料中の極微量の不純物レベルを高感度に測定する装置が必要となってきました。 ICP-MSは高感度、かつ多元素同時測定ができますが、通常の導入系を使用した場合、主成分の濃度(マトリックス濃度)を0.1%程度以下に抑える必要がありました。 HP 4500 シリーズフローインジェクション導入装置とHP 4500 ICP-MSを組み合わせることにより、さらに高濃度のマトリックスをICP-MSに導入することが可能になり、結果として、より微量成分の分析が可能となります。
本資料では、フローインジェクション-HP 4500 ICP-MSシステムを用いて高純度鉄中のCr、Co、Ci、Cu、Znの5元素を測定した例を紹介します。

*HP 4500ICP-MSをご利用のお客様へ

分野 一般化学(スペシャリティケミカル)
キーワード 多元素同時測定、フローインジェクション、高純度鉄、TI 15F1D1-017 
掲載年月 2000/12
ページ数 4ページ (PDFファイルサイズ 218kB)

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使用分析装置
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JISS 003-4(1%)測定 10回繰り返し再現性