電子工業関連試料の分析-TMAH-

電子工業関連試料の分析-TMAH-

Pub.No. TI 15F1D1-007

【要旨】

"水酸化テトラメチルアンモニウム(TMAH)は半導体プロセス中で洗浄に用いられる薬品の1つであり、またフォトレジストの溶解液として使われます。TMAHはNaOHやKOHに匹敵する有機強アルカリですが、HP 4500 ICP-MSを用いればTMAH中の微量金属不純物の定量を行うことができます。特にHP 4500は当社特許技術のシールドトーチを用いることにより多くの金属元素で驚異的に検出限界を向上されることができます。

*HP 4500ICP-MSをご利用のお客様へ

分野 半導体/電子材料
キーワード 水酸化テトラメチルアンモニウム、TMAH、塩化テトラメチルアンモニウム、TMAC、TI 15F1D1-007 
掲載年月 2000/12
ページ数 2ページ (PDFファイルサイズ 115kB)

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使用分析装置
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ICP-MS
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TMAH(5%)の定性スペクトル

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TMAH及びTMACの定量結果