電子工業関連試料の分析-TMAH-

Pub.No. TI 15F1D1-007

電子工業関連試料の分析-TMAH-

水酸化テトラメチルアンモニウム(TMAH)は半導体プロセス中で洗浄に用いられる薬品の1つであり、またフォトレジストの溶解液として使われます。TMAHはNaOHやKOHに匹敵する有機強アルカリですが、HP 4500 ICP-MSを用いればTMAH中の微量金属不純物の定量を行うことができます。特にHP 4500は当社特許技術のシールドトーチを用いることにより多くの金属元素で驚異的に検出限界を向上されることができます。

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spICP-QQQ による半導体プロセス試薬の多元素ナノ粒子分析 ~ TMAH 中の Ag、Fe3O4、Al2O3、Au、および SiO2 ナノ粒子の 特性解析 ~

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分野 半導体/電子材料
キーワード 水酸化テトラメチルアンモニウム、TMAH、塩化テトラメチルアンモニウム、TMAC、TI 15F1D1-007 
掲載年月 2000/12
ページ数 2ページ (PDFファイルサイズ 115kB)

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使用分析装置

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ICP-MS

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TMAH(5%)の定性スペクトル

分析結果の一例

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TMAH及びTMACの定量結果